AMHS 自動物料搬送系統
AMHS 自動物料搬送系統
AMHS 自動物料搬送系統包含「OHT空中走行式無人搬運車」「Stocker儲存貨架」「Lifter升降機」與「OHB軌道緩衝倉儲」,主要應用於半導體無塵室工廠,提供各型晶圓盒自動搬運與儲存機能, 搭配MCS物料搬送管理系統,可以串接各個半導體製程工段,達成全廠自動化運行之目標